UFF(UltraForm Finishing)研磨機の特長
- 5軸制御のサブアパチャー研磨装置で、平面、球面、非球面、自由曲面に対応。
- 弾性体のホイール上を回る研磨ベルトを用いた独自技術の高精度研磨により、λ/4以上の高精度研磨が可能です。（被研磨面の面形状誤差を修正研磨します。）
- 研磨レートが高く、且つ腰のある弾性体での研磨のため、研削面の状態からそのままUFFによる研磨が可能。研削痕もきれいに除去できます。
- ホイールの種類（硬さや径）やベルトの種類（固定砥粒の種類・遊離砥粒用のベルトも用意）など研磨ツールの選択によって、さまざまなタイプの材料や形状の研磨が可能です。
UFF研磨の手順と特長
- 単位時間における研磨量のデータを取得します。（被研磨面の一か所を一定時間研磨し、その研磨痕を装置に標準搭載の測定プローブ（STIL Optical Pen)を用いて自動計測します。） これがいわゆる研磨ツールになります。（図１）
- 別途干渉計やプロフィロメータなどでワークの面形状誤差のデータを取得しておきます。
- 上記2つのデータを取得後、面形状の修正量に応じた研磨の滞留時間分布を自動計算し、CNCプログラムで修正研磨を行います。（図2）
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| 図1 単位時間における研磨量 | 図2 CNC研磨の様子 |
- ホイール径は 10 ～ 100 mmで 数種類用意。様々な形状に対応できます。（図3）
- ホイールの硬さは６種類用意（30～80 ショアA硬度）
- 酸化セリウムやダイヤモンドなどの固定砥粒のベルトを用いた研磨 または ポリウレタンベルトなどを用いて遊離砥粒による研磨を行うことができます。（ベルトの材質は30種類以上用意。）ランニングコストを安く抑えます。（図4）
- 上記ホイールやベルトの組み合わせによって、光学ガラスからセラミクス、ステンレスまで広範囲の材料を高速かつ高精度に研磨が可能です。
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| 図3 ホイール | 図4 研磨ベルト |